电子材料级过滤洗涤干燥机

亚光长期从事过滤、洗涤、干燥及高洁净工艺装备研发制造，是 JB/T 20099-2022《药物过滤洗涤干燥机》独家起草单位，累计交付过滤洗涤干燥设备1800+台。产品形成多规格系列，并可根据客户物料特性、工艺路线及纯度控制要求开展非标定制，在设备结构、密闭方式、材质体系、清洗、自动化及工艺适配等方面进行针对性设计。

针对高纯电子材料对金属离子、腐蚀及洁净度的控制要求，设备可根据物料和工艺条件选用 316L、904L、Hastelloy、钛材等接触材质，高配可采用电解抛光，表面粗糙度可达 Ra ≤ 0.2 μm。半导体及高纯电子材料场景可优先采用滤布，降低金属过滤介质可能带来的金属离子引入风险；对于更高纯度或强腐蚀工况，还可配置 PFA / ECTFE / PTFE 喷涂或衬里，构建低析出、耐腐蚀的物料接触界面。

设备特点：
极限低析出：关键金属元素单项溶出量 ≤1 ppb，支持 SEMI Grade 3；设备本体内表面采用电解抛光，配合可选配高纯涂层/衬里；全密闭+双端面机械密封+N₂/Ar保护，减少环境暴露。
全密闭一机完成：一台设备完成过滤—置换洗涤—脱液—真空干燥—自动出料，减少人工转运；过滤介质可选滤布以避免金属离子析出，或使用多层金属烧结滤板避免纤维脱落。
温和保护：低剪切搅拌保护分子链与PDI；高真空低温脱溶把残溶残水压进窗口；全流程密闭自动、参数可追溯，保障批次一致性。

应用范围：
- 光刻胶树脂 / 成膜树脂
- PAG 及相关电子材料
- 液晶单体及中间体
- 钛合金 3D 打印材料
- 高纯晶体
- 精细电子化学材料